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VPS-QZ05石英真空等離子處理儀是一款針對(duì)實(shí)驗(yàn)室需要專門開發(fā)的小型臺(tái)式等離子清洗機(jī)，處理室為圓筒形石英玻璃，處理器為電容耦合外電極型，內(nèi)部無電極。

PS-RF10 小型科研型射頻真空等離子清洗機(jī)是一款針對(duì)實(shí)驗(yàn)室需要專門開發(fā)的小型臺(tái)式等離子清洗機(jī)，處理室為圓筒形石英玻璃，處理器為電容耦合外電極型，內(nèi)部無電極。

VPS-RF05 小型桌面型真空等離子處理儀是一款針對(duì)實(shí)驗(yàn)室需要專門開發(fā)的小型臺(tái)式等離子清洗機(jī)，處理室為圓筒形石英玻璃，處理器為電容耦合外電極型，內(nèi)部無電極。

VPS-MF05R 旋轉(zhuǎn)型真空等離子處理儀是一款針對(duì)實(shí)驗(yàn)室需要專門開發(fā)的小型臺(tái)式等離子清洗機(jī)，處理室為圓筒形石英玻璃，處理器為電容耦合外電極型，內(nèi)部無電極。

VPS-RF05是一款小型實(shí)驗(yàn)科研型真空等離子清洗機(jī)，其原理是在真空狀態(tài)下（約10~100pa），給氣體施加電場(chǎng)，氣體在電場(chǎng)提供的能量下會(huì)由氣態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)榈入x子體狀態(tài)（也稱物質(zhì)的“第四態(tài)”），其中含有大量的電子、離子、光子和各類自由基等活性粒子，比通常的化學(xué)反應(yīng)所產(chǎn)生的活性粒子種類更多、活性更強(qiáng)，更易于和所接觸的材料表面發(fā)生反應(yīng)。