產(chǎn)品型號：
更新時間：2026-05-09
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
訪 問 量 ：383
產(chǎn)品分類
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產(chǎn)品名稱：VPS-RF10石真空等離子處理儀
VPS-RF10石真空等離子處理儀參數(shù)：
型號 | VPS-MF20 |
功率 | 0-300W可調(diào) |
頻率 | 13.56MHz |
腔體材質(zhì) | 316 鏡面不銹鋼 |
腔體尺寸 | 380(L)*380(D)*165(H)mm |
腔體容積 | 23L |
適用產(chǎn)品尺寸 | 310*310mm |
極限真空度 | 1Pa |
控制方式 | PLC+4.3寸觸摸屏 |
氣路數(shù)量 | 兩路，氧氣、氫氣等（腐蝕性氣體需定制） |
外形尺寸 | 640mm(L)×580mm(W) ×630 mm(H) |
深圳深光達科技有限公司深耕等離子技術(shù)域十余載，表面處理解決方案服務商。公司自主研發(fā)的真空、大氣常壓及微波等離子清洗設(shè)備，精準清洗與活化，設(shè)備連續(xù)運行穩(wěn)定性達99.6%以上，通過ISO 9001/14001雙體系認證。其低溫真空等離子去膠機**在半導體封裝環(huán)節(jié)實現(xiàn)每小時300片晶圓的量產(chǎn)處理，刻蝕均勻性誤差＜3%，助力客戶良品率提升20%+。針對汽車內(nèi)飾、醫(yī)療導管等復雜曲面，**常壓旋轉(zhuǎn)噴槍系統(tǒng)**可完成360°處理，表面張力值穩(wěn)定提升至72mN/m以上。
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