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  • 等離子體清洗設備

等離子體清洗設備
產品簡介:

大型真空等離子體清洗設備VPS-RF210是一款針對實驗室需要專門開發(fā)的小型臺式等離子清洗機,處理室為圓筒形石英玻璃,處理器為電容耦合外電極型,內部無電極。

產品型號:VPS-RF210

更新時間:2026-05-09

廠商性質:生產廠家

訪 問 量 :89

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產品介紹

大型真空等離子體清洗設備VPS-RF210簡介:

VPS-RF210是一款大型真空等離子體清洗設備,適用于大批量工業(yè)生產使用。等離子體清洗通過其中的活性離子與物體表面發(fā)生化學反應來達到清洗的目的。例如通過氧氣清潔物體表面的有機物,產生氧化反應,氧等離子體和污染物產生二氧化碳、氧化碳和水。通過氮氣電離形成的等離子體可以與部分子結構發(fā)生關鍵反應,因此它也是一種活性氣體,但與氧氣和氫氣相比,顆粒相對較重;在清洗和活化的同時,可以達到一定的轟擊和蝕刻效果,防止部分金屬表面氧化。如今,等離子清洗機廣泛用于當代半導體、電路等行業(yè),在元件封裝前、芯片鍵合前可借助等離子清洗處理,其優(yōu)點是清除效率高,不會對樣品表面造成損傷,從而提升產品的質量。

 

VPS-RF210 大型真空等離子體清洗設備

 

大型真空等離子體清洗設備特點:歐美放電技術,專業(yè)型放電結構,科學仿真等離子體分布均勻,處理效果均勻。


產品應用:提高親水性、改善粘接性、表面微刻蝕、有機物去除、提高表面能、提高印刷油墨附著力。


產品參數(shù):

型號

VPS-RF210

等離子頻率

13.56MHz 自動阻抗匹配

極限真空度

10-100Pa

功率

0-1000W連續(xù)可調

腔體材質

進口級316L不銹鋼/航空鋁合金(可選)

腔體尺寸

600(W)*600(D)*600(H)mm

腔體容積

210L

單層有效處理面積

W560mm x D520mm

氣路數(shù)量

2路氣體,支持氧氣,氬氣,氮氣,氫氣等(腐蝕性氣體需定制)

處理層數(shù)

8層(可定制)

控制方式

PLC+觸摸屏

真空泵

油泵/干泵(可選)

電源

AC380V,50/60Hz

 

 

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